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電子級多晶硅是用于集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,純度要求99.99999999999%以上。鑫華半導(dǎo)體解決了痕量雜質(zhì)提純、高等級潔凈控制、全流程在線質(zhì)量監(jiān)控等長期困擾中國高純電子級多晶硅量產(chǎn)的關(guān)鍵難題,全球首創(chuàng)智能非接觸式硅料處理系統(tǒng)等核心技術(shù),打破國外長期壟斷,形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套技術(shù),解決了12寸晶圓國產(chǎn)化鏈條的前端原料支撐。
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